EJA系列智能壓力/差壓變送器
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Description
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
智能變送器是日本橫河電機(jī)株式會(huì)社九十年代中期最新推出的產(chǎn)品，率先采用真正的數(shù)字化傳感器—單晶硅諧振式傳感器，開(kāi)創(chuàng)了變送器的新時(shí)代，產(chǎn)品具有更高的精度、穩(wěn)定性、可靠性，自推向市場(chǎng)，深受各界好評(píng)。為迎接現(xiàn)場(chǎng)總線時(shí)代的來(lái)臨，我們已推出經(jīng)基金會(huì)測(cè)試認(rèn)證的符合FF 標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)場(chǎng)總線變送器。
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二、先進(jìn)的工作原理
圖1 硅諧振梁的結(jié)構(gòu)
采用微電子加工技術(shù)（MEMS)在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩 回路中作高頻振蕩（如圖1）。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時(shí)，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。
兩頻率之差信號(hào)直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，然后 （１）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號(hào)，通訊時(shí)疊加Brain或Hart數(shù)字信號(hào)； （２）直接輸出符合現(xiàn)場(chǎng)總線（Fieldbus Foundation TM）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)。
圖1 硅諧振梁的結(jié)構(gòu)
三、優(yōu)異的性能
靜壓影響忽略不計(jì)
當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時(shí)，兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同， 故頻率變化也一致，故偏差自動(dòng)清除（公式和圖類似溫度影響）。
單向過(guò)壓特性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用獨(dú)創(chuàng)的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時(shí)， 接液膜片能與本體完全接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加，從而達(dá)到對(duì)傳感器的保護(hù)作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過(guò)壓特性。
圖5 對(duì)于過(guò)壓的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
圖6 長(zhǎng)期穩(wěn)定性
四、安裝靈活，使用方便
安裝靈活
可無(wú)需支架，直接安裝（如圖7）； 常規(guī)使用，無(wú)需三閥組（如圖8）。
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| 圖7 無(wú)需支架直接安裝 | 圖8 無(wú)需三閥組安裝 |
組態(tài)靈活簡(jiǎn)便
可通過(guò)計(jì)算機(jī)或手操器對(duì)變送器組態(tài)，也可通過(guò)變送器上的量程設(shè)置按鈕和調(diào)零按鈕，進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整（如圖9）。
圖9 BT2000與EJA
